원래 장소: | 중국 |
브랜드 이름: | Brother Furnace |
인증: | CE |
모델 번호: | BR-PECVD |
최소 주문 수량: | 1 세트 |
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가격: | Negotiation |
포장 세부 사항: | 세계적인 선박을 위한 강한 나무 상자 |
배달 시간: | 7-21 작업 일 |
지불 조건: | L / C, T / T, 웨스턴 유니온 |
공급 능력: | 달 당 200 세트 |
최고 온도: | 1200℃ | 정상적인 진공: | -0.1Mpa |
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최대 진공: | 윤곽 분자 펌프, (선택) 진공 7x10-4 Pa | 플랜지: | 304 스테인리스 바다표범 어업 플랜지 |
과열 보호: | 온도가 허용가능한 설정값을 초과할 경우의 자동적인 힘 떨어져 | 안전 보호: | 로 몸이 샐 때 떨어져 자동적으로 힘 |
로 구조: | 겹켜 강철 이중 냉각팬, 50℃의 밑에 표면 온도 | MAX 난방 비율: | 20°C /min |
온도 정확도: | ±1℃ | 온도 균등성: | ±5℃ |
온도 조종: | 풀그릴 50의 세그먼트 및 자동 통제 | 연관: | 석영 관 |
신청: | 플라스마는 LPCVD를 강화했습니다 | ||
하이 라이트: | 자전 관형노,석영 관형노 |
기준 여분:
선택적인 여분:
실험실 PECVD 쪼개지는 관형노 표준 규격:
1. 난방 장치 | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 시간) | |
작동 온도 | ≤1100℃ | |
약실 크기 | Φ100*1650mm (관 diamater는 customizable 입니다) | |
약실 물자 | 높은 순수성 반토 섬유판 | |
열전대 | K 유형 | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
온도 조종 |
난방 비율, 냉각 비율 및 망설임 시간의 정확한 통제를 위한 ● 50 풀그릴 세그먼트. 과열의 & 끊긴 열전대에 의하여 끊기는 보호를 가진 PID 자동 곡 기능에서 건설되는 ●. ● PLC 안쪽으로 PC 관제사에 의하여 자동 제어계. ●는 프로그램에 의해 체계를 미끄러지기 온도 조종 체계 (시간과 거리) 통제될 수 있었습니다. |
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난방 길이 | 440mm | |
일정한 난방 길이 | 200mm | |
발열체 | 저항선 | |
전력 공급 | 단일 위상, 220V, 50Hz | |
정격 출력 | 9kW | |
2. RF 플라스마 근원 | ||
RF 빈도 | 13.56 MHz±0.005% | |
출력 전력 | 500W | |
최대 힘을 반영하십시오 | 500W | |
RF는 공용영역을 출력했습니다 | 50 Ω의 여성 N 유형 | |
힘 안정성 | ±0.1% | |
조화되는 성분 | ≤-50dbc | |
공급 전압/빈도 | 단일 위상 AC220V 50/60HZ | |
전체적인 효율성 | >=70% | |
동력 인자 | >=90% | |
냉각 방법 | 강제 통풍 | |
3. 3개의 정밀도 대량 유량계 통제 시스템 | ||
외부 차원 | 600x600x650mm | |
연결관 유형 | Swagelok SS 합동 | |
표준 범위 (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, 또는 customizable | |
정확도 | ±1.5% | |
선형 | ±0.5~1.5% | |
반복성 | ±0.2% | |
응답 시간 |
가스 재산: 1~4 SEC; |
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압력 범위 | 0.1~0.5 MPa | |
Max.pressure | 3MPa | |
공용영역 | Φ6,1/4” | |
전시 | 4개의 손가락 전시 | |
주위 온도 | 5~45 높은 순수성 가스 | |
압력 계기 | - 0.1~0.15 MPa의 0.01 MPa/단위 | |
스톱 밸브를 | Φ6 | |
SS 관을 닦으십시오 | Φ6 | |
포함되는 낮은 진공 체계 |
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