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Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

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제품 소개실험실 관형노

자동적인 실험실 관형노는 화학 수증기 공술서 로를 강화했습니다

자동적인 실험실 관형노는 화학 수증기 공술서 로를 강화했습니다

Automatic Lab Tube Furnace Enhanced Chemical Vapor Deposition Furnace

제품 상세 정보:

원래 장소: 중국
브랜드 이름: Brother Furnace
인증: CE
모델 번호: BR-PECVD

결제 및 배송 조건:

최소 주문 수량: 1 세트
가격: Negotiation
포장 세부 사항: 세계적인 선박을 위한 강한 나무 상자
배달 시간: 7-21 작업 일
지불 조건: L / C, T / T, 웨스턴 유니온
공급 능력: 달 당 200 세트
지금 연락
상세 제품 설명
Max Temperature: 1200℃ Normal vacuum: -0.1MPa
Max Vacuum: Configuration molecular pump, Vacuum 7x10-4 Pa (Optional) Flange: 304 stainless steel sealing flange
Over-temperature protection: automatic power-off when the temperature exceeds the allowable set value Safety protection: Automatically power off when the furnace body leaks
Furnace structure: double layer steel dual cooling fan, surface temperature below 50℃ Max Heating rate: 20°C /min
TEMPERATURE ACCURACY: ±1℃ TEMPERATURE UNIFORMITY: ±5℃
Temperature Control: 50 Segments programmable and auto control Furnace tube: Quartz tube
Application: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Furnace

실험실 플라스마는 1200 도까지 화학 수증기 공술서 로를 강화했습니다
 
지적인 PECVD 소개:
PECVD 체계는 전통적인 CVD의 반응 온도를 줄이기 위하여 디자인됩니다. 그것은 전통적인 CVD의 앞에 RF 감응작용 가스의 반작용을 이온화하기 위하여 장비를 설치했습니다, 그래서 플라스마는 생성됩니다. 플라스마의 높은 활동은 반응 플라스마의 높은 활동 가속한 때문이입니다. 따라서, 이 체계는 PECVD에게 불립니다.
이 모형은 신제품입니다, 대부분의 관 PECVD 체계의 이점을 종합하고, PECVD 체계의 정면에 있는 미리 데우기 지역을 추가했습니다. 시험은 공술서 속도가 더 빠르다는 것을, 영화 질 더 낫습니다 보여주었습니다, 구멍은 더 적은이고, 부수지 않을 것입니다. AISO 완전히 자동적인 지 통제 시스템은 우리의 회사에 의해 자주적으로 디자인됩니다, 운영하는 것이 편리하 그것의 기능은 더 강력합니다.
넓은 신청 범위: 영화, 세라믹 영화, 합성 영화, 각종 영화의 지속적인 성장을 금속을 붙이십시오. 기능을 증가하게 쉬운, 플라스마 청소 식각과 다른 기능을 확장할 수 있습니다
 
 
주요 특징:

  • 높은 영화 공술서 비율: 매우 영화의 공술서 비율 증가 RF 놀 기술은, 공술서 비율 10Å/S를 도달할 수 있습니다
     
  • 높은 지역 균등성: 진보된 다지점 RF 먹이기 기술, 특별한 가스 경로 배급 및 난방 기술, 등은, 영화 균등성 색인 도달 8%를 만듭니다
     
  • 높은 견실함: 반도체 공업의 진보된 설계 개념 사용, 1 공술서의 기질 사이 탈선은 2% 보다 적은입니다
     
  • 높은 가공 안정성: 고도로 안정된 장비는 지속 적이고 및 안정되어 있는 과정을 지킵니다

자동적인 실험실 관형노는 화학 수증기 공술서 로를 강화했습니다
 
기준 여분:

  • 관 4 PC 폐쇄
  • 연관 1 PC
  • 진공 펌프 1 PC
  • 진공 바다표범 어업 플랜지 2 세트
  • 진공 계기 1 PC
  • 가스 납품 & 진공 펌프
  • RF 플라스마 장비

 
선택적인 여분:
 

  • 신속 이탈 플랜지, 3방향 플랜지
  • 7 인치 HD 접촉 scree

 
 
 
플라스마는 화학 수증기 공술서로 표준 규격을 강화했습니다:

1. 난방 장치
Max.temperature1200℃ (1 시간)
작동 온도≤1100℃
약실 크기Φ100*1650mm (관 diamater는 customizable 입니다)
약실 물자높은 순수성 반토 섬유판
열전대K 유형
Temperatureaccuracy±1℃
온도 조종

난방 비율, 냉각 비율 및 망설임 시간의 정확한 통제를 위한 ● 50 풀그릴 세그먼트.

과열의 & 끊긴 열전대에 의하여 끊기는 보호를 가진 PID 자동 곡 기능에서 건설되는 ●.

● PLC 안쪽으로 PC 관제사에 의하여 자동 제어계.

●는 프로그램에 의해 체계를 미끄러지기 온도 조종 체계 (시간과 거리) 통제될 수 있었습니다.

난방 길이440mm
일정한 난방 길이200mm
발열체저항선
전력 공급단일 위상, 220V, 50Hz
정격 출력9kW
2. RF 플라스마 근원
RF 빈도13.56 MHz±0.005%
출력 전력500W
최대 힘을 반영하십시오500W
RF는 공용영역을 출력했습니다50 Ω의 여성 N 유형
힘 안정성±0.1%
조화되는 성분≤-50dbc
공급 전압/빈도단일 위상 AC220V 50/60HZ
전체적인 효율성>=70%
동력 인자>=90%
냉각 방법강제 통풍
3. 3개의 정밀도 대량 유량계 통제 시스템
외부 차원600x600x650mm
연결관 유형Swagelok SS 합동
표준 범위 (N2)0~100sccm, 0~200sccm, 또는 customizable
정확도±1.5%
선형±0.5~1.5%
반복성±0.2%
응답 시간

가스 재산: 1~4 SEC;
전기 재산: 10 SEC

압력 범위0.1~0.5 MPa
Max.pressure3MPa
공용영역Φ6,1/4”
전시4개의 손가락 전시
주위 온도5~45 높은 순수성 가스
압력 계기- 0.1~0.15 MPa의 0.01 MPa/단위
스톱 밸브를Φ6
SS 관을 닦으십시오Φ6
포함되는 낮은 진공 체계
 

 
실험실 플라스마는 왜 형제의 화학 수증기 공술서 로를 강화했습니까?

  • 10+ 년의 경험을 가진 제조자
  • 제일 질
  • 주문을 받아서 만들어진 디자인
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연락처 세부 사항
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

담당자: li

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10, 허난 성 국가 대학 과학과 기술 공원 건축, 정저우, 중국.
전화 번호:86-371-67973830
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