원래 장소: | 중국 |
브랜드 이름: | Brother Furnace |
인증: | CE |
모델 번호: | BR-PECVD |
최소 주문 수량: | 1 세트 |
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가격: | Negotiation |
포장 세부 사항: | 세계적인 선박을 위한 강한 나무 상자 |
배달 시간: | 7-21 작업 일 |
지불 조건: | L / C, T / T, 웨스턴 유니온 |
공급 능력: | 달 당 200 세트 |
최고 온도: | 1200℃ | 정상적인 진공: | -0.1Mpa |
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최대 진공: | 윤곽 분자 펌프, (선택) 진공 7x10-4 Pa | 플랜지: | 304 스테인리스 바다표범 어업 플랜지 |
과열 보호: | 온도가 허용가능한 설정값을 초과할 경우의 자동적인 힘 떨어져 | 안전 보호: | 로 몸이 샐 때 떨어져 자동적으로 힘 |
로 구조: | 겹켜 강철 이중 냉각팬, 50℃의 밑에 표면 온도 | MAX 난방 비율: | 20°C /min |
온도 정확도: | ±1℃ | 온도 균등성: | ±5℃ |
온도 조종: | 풀그릴 50의 세그먼트 및 자동 통제 | 연관: | 석영 관 |
신청: | PECVD | ||
하이 라이트: | 자전 관형노,석영 관형노 |
최대 1200C. 가스 납품 & 진공 펌프를 가진 실험실 PECVD 관형노
지적인 PECVD 소개:
PECVD 체계는 전통적인 CVD의 반응 온도를 줄이기 위하여 디자인됩니다. 그것은 전통적인 CVD의 앞에 RF 감응작용 가스의 반작용을 이온화하기 위하여 장비를 설치했습니다, 그래서 플라스마는 생성됩니다. 플라스마의 높은 활동은 반응 플라스마의 높은 활동 가속한 때문이입니다. 따라서, 이 체계는 PECVD에게 불립니다.
이 모형은 신제품입니다, 최대 관 PECVD 체계의 이점을 종합하고, PECVD 체계의 정면에 있는 지역의 미리 데우를 추가했습니다. 시험은 공술서 속도가 더 빠르다는 것을, 영화 질 더 낫습니다 보여주었습니다, 구멍은 더 적은이고, 부수지 않을 것입니다. AISO 완전히 자동적인 지 통제 시스템은 우리의 회사에 의해 자주적으로 디자인됩니다, 운영하는 것이 편리하 그것의 기능은 더 강력합니다.
넓은 신청 범위: 영화, 세라믹 영화, 합성 영화, 각종 영화의 지속적인 성장을 금속을 붙이십시오. 기능을 증가하게 쉬운, 플라스마 청소 식각과 다른 기능을 확장할 수 있습니다
주요 특징:
기준 여분:
선택적인 여분:
1200℃ PECVD 관형노 표준 규격:
1. 난방 장치 | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 시간) | |
작동 온도 | ≤1100℃ | |
약실 크기 | Φ100*1650mm (관 diamater는 customizable 입니다) | |
약실 물자 | 높은 순수성 반토 섬유판 | |
열전대 | K 유형 | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
온도 조종 |
난방 비율, 냉각 비율 및 망설임 시간의 정확한 통제를 위한 ● 50 풀그릴 세그먼트. 과열의 & 끊긴 열전대에 의하여 끊기는 보호를 가진 PID 자동 곡 기능에서 건설되는 ●. ● PLC 안쪽으로 PC 관제사에 의하여 자동 제어계. ●는 프로그램에 의해 체계를 미끄러지는 온도 조종 체계 (시간과 거리) 통제될 수 있었습니다. |
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난방 길이 | 440mm | |
일정한 난방 길이 | 200mm | |
발열체 | 저항선 | |
전력 공급 | 단일 위상, 220V, 50Hz | |
정격 출력 | 9kW | |
2. RF 플라스마 근원 | ||
RF 빈도 | 13.56 MHz±0.005% | |
출력 전력 | 500W | |
최대 힘을 반영하십시오 | 500W | |
RF는 공용영역을 출력했습니다 | 50 Ω의 여성 N 유형 | |
힘 안정성 | ±0.1% | |
조화되는 성분 | ≤-50dbc | |
공급 전압/빈도 | 단일 위상 AC220V 50/60HZ | |
전체적인 효율성 | >=70% | |
동력 인자 | >=90% | |
냉각 방법 | 강제 통풍 | |
3. 3개의 정밀도 대량 유량계 통제 시스템 | ||
외부 차원 | 600x600x650mm | |
연결관 유형 | Swagelok SS 합동 | |
표준 범위 (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, 또는 customizable | |
정확도 | ±1.5% | |
선형 | ±0.5~1.5% | |
반복성 | ±0.2% | |
응답 시간 |
가스 재산: 1~4 SEC; |
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압력 범위 | 0.1~0.5 MPa | |
Max.pressure | 3MPa | |
공용영역 | Φ6,1/4” | |
전시 | 4개의 손가락 전시 | |
주위 온도 | 5~45 높은 순수성 가스 | |
압력 계기 | - 0.1~0.15 MPa의 0.01 MPa/단위 | |
스톱 밸브를 | Φ6 | |
SS 관을 닦으십시오 | Φ6 | |
포함되는 낮은 진공 체계 |
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담당자: li
전화 번호: +8613526693072